監測及檢測清潔工作的有效性
2015-10-24 17:24:28??????點擊：
潔凈室的設備、器具及其他表面，某些要求較高的潔凈室可能要求在清潔后進行潔凈度測試，由潔凈室用戶選擇合適的潔凈度檢測、驗證方法，由用戶確定能保證潔凈室的產品和工藝質量的可接受的潔凈度及其限制范圍，ISO 14644標準建議在可能時，應通過實際測量來確定限值。
應該詳細規定并實行常規的表面污染檢查，以考核和保證清潔工作的有效性。
通常可以用目檢技術來判定表面的潔凈度。表面目視清潔，證明沒有不用放大鏡就能看到的污點。進行目檢時，是否使用高強度白光或紫外線光源由用戶自行決定。
用清潔的擦拭物擦拭檢測表面，依據粘附在擦拭物表面的污染狀況來判斷表面清潔度，也是一種常用的檢驗方法。國外市場上供應有各種彩色擦拭物，針對性地用于檢測某些類型的污染，也十分有效。
此外，其他可以考慮的檢測表面粒子的方法還有：
1、黏膠帶法
采用粘性膠帶與被測表面接觸，將粘附上被測表面粒子的膠帶在生物顯微鏡下讀值的方法。美國測試材料協會（ASTM）標準E 1216-87對此方法有詳細的規定。
2、表面粒子檢測法
采用表面粒子計數器來檢測被測表面上的粒子尺寸與數量。此方法儀器不僅價格昂貴，而且現場使用時受到放置平面等條件的限制，在某些工藝對表面粒子敏感的潔凈室使用。
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